德國菲希爾公司的X射線熒光鍍層膜厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XDLM237是一款應用廣泛的能量色散型x射線鍍層測厚及材料分析儀。這款儀器專門是為測量分析極薄鍍層和超小含量而設計,是用于質量控制,質量檢驗和生產監(jiān)控的合適的測量儀器。典型的應用領域有:
1,測量大規(guī)模生產的電鍍零部件
2,測量微小區(qū)域上的薄鍍層
3,測量電子工業(yè)或半導體工業(yè)中的功能性鍍層
4,全自動測量,如測量印刷線路板
德國菲希爾公司的X射線熒光鍍層膜厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XDLM237設計理念:
FISCHERSCOPE X-RAY
XDLM237設計為界面友好的臺式測量儀器系列,配備了馬達驅動的X/Y工作臺,當保護門開啟時,工作臺會自動移到放置樣品的位置。馬達驅動的可編程Z軸升降系統(tǒng)。
高分辨率的彩色視頻攝像頭可方便定位測量位置。配備了激光點,可以輔助定位并快速對準測量位置。
測量箱底部的開槽是專為面積大而形狀扁平的樣品所設計,由此儀器就可以測量比測量箱更長和更寬的樣品。例如:大型的印制電路板。
帶有放大功能和十字線的集成視頻顯微鏡簡化了樣品擺放,并且允許測量點的調整。
所有的儀器操作,以及測量數據的計算和測量數據報表的清晰顯示,都可以通過功能強大而界面友好的WinFTM®軟件在電腦上完成。
德國菲希爾公司的X射線熒光鍍層膜厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XDLM237技術參數規(guī)格簡介:
通用規(guī)格
設計用途
能量色散X射線熒光鍍層測厚及材料分析儀 (EDXRF) 用來測量薄鍍層和微小結構, 分析合金和微量組分。
元素范圍
從元素 氯(17) 到 鈾(92) 配有可選的WinFTM® BASIC軟件時,多可同時測定24種元素
形式設計
臺式儀器,測量門向上開啟
測量方向
從上到下
德國菲希爾公司的X射線熒光鍍層膜厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XDLM237X射線源
X射線管
帶鈹窗口的微聚焦鎢管
高壓
三檔: 30 kV,40 kV,50 kV
孔徑(準直器)
標準(523-440)
可選(523-366)
可選(524-061)
4個可切換準直器
[mm]: ?0.1, ?0.2,
0.05x0.05, 0.2x0.03 [mm]: ?0.1, ?0.2, ?0.3, 0.3x0.05 [mm]: ?0.1, ?0.2, 0.3 x
0.05, 0.05x0,05 其他可按要求定制
基本濾片
3種可切換的基本濾片(標準配置:鎳,鋁,無)
測量點
取決于測量距離及使用的準直器大小, 實際的測量點大小與視頻窗口中顯示的一致 小的測量點大小: 光圈約? 0.1
mm(選用準直器0.05x0.05 mm時)
X射線探測
X射線接收器
測量距離
比例接收器
0 ~ 80 mm,使用保護的DCM測量距離補償法
視頻系統(tǒng)
視頻系統(tǒng)
高分辨率CCD彩色攝像頭,沿著初級X射線光束方向觀察測量位置 手動聚焦,對被測位置進行監(jiān)控 十字線(帶有經過校準的刻度和測量點尺寸) 可調節(jié)亮度的LED照明,激光光點用于定位樣品
放大倍數
40x - 160x
電氣參數
電源要求
交流 220 V 50 Hz
功率
大 120 W (不包括計算機)
保護等級
IP40
尺寸規(guī)格
外部尺寸
寬x深x高[mm]:570 x 760 x 650
內部測量室尺寸
重量
寬x深x高[mm]:460 x 495 x 146
120kg
工作臺
設計
馬達驅動可編程X/Y平臺
大移動范圍 255 × 235 mm
X/Y平臺移動速度 ≤ 80 mm/s
X/Y平臺移動重復精度 ≤ 0.01 mm, 單向
可用樣品放置區(qū)域 300 × 350 mm
Z軸 可編程運行
Z軸移動范圍 140 mm
樣品大重量 5 kg,降低精度可達20kg
樣品大高度 140 mm
環(huán)境要求
使用時溫度
10°C – 40°C
存儲或運輸溫度
0°C – 50°C
空氣相對濕度
≤ 95 %, 無結露
計算單元
計算機
帶擴展卡的計算機系統(tǒng)
軟件
標準: WinFTM® V.6 LIGHT 可選: WinFTM® V.6 BASIC,PDM®,SUPER
執(zhí)行標準
CE合格標準
EN 61010
X射線標準
DIN ISO 3497和 ASTM B 568
型式批準
**而保護**的測量儀器, 型式許可符合德國“Deutsche R?ntgenverordnung-R?V”法規(guī)規(guī)定。
德國菲希爾公司的X射線熒光鍍層膜厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XDLM237訂貨號
FISCHERSCOPE
X-RAY XDLM 237
604-347
如有特殊要求,可與FISCHER磋商,定制特殊的XDLM型號。
其他檢測儀器:鐵素體測量儀SP10a、推拉力計HF系列、高溫耦合劑sono950